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光學(xué)器件批量生產(chǎn)的納米壓印解決方案

發(fā)布時(shí)間：2022-03-16

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1、簡(jiǎn)介

       EVG7300 是蕞先近的 EVG 解決方案，可將多種基于 UV 的工藝（例如納米壓印光刻 (NIL)、透鏡成型和透鏡堆疊（UV 鍵合））集成在一個(gè)平臺(tái)。

       EVG7300 SmartNIL® 納米壓印和晶圓級(jí)光學(xué)系統(tǒng)是一種多功能、先進(jìn)的解決方案，在一個(gè)平臺(tái)中結(jié)合了多種基于紫外線(xiàn)的工藝能力。

       SmartNIL® 結(jié)構(gòu)化增強(qiáng)現(xiàn)實(shí) (AR) 波導(dǎo)和晶圓級(jí)微透鏡印記展示了新型 EVG7300 的應(yīng)用多功能性。

EVG7300_納米壓印設(shè)備.jpg

       奧地利弗洛里安，報(bào)道— 為MEMS、納米技術(shù)和半導(dǎo)體市場(chǎng)提供晶圓鍵合和光刻設(shè)備的領(lǐng)仙供應(yīng)商 EV Group (EVG) 推出了 EVG7300 自動(dòng)化 SmartNIL納米壓印和晶圓級(jí)光學(xué)系統(tǒng)。 
       EVG7300 是該公司蕞先近的解決方案，將多種基于 UV 的工藝能力結(jié)合在一個(gè)平臺(tái)中，例如納米壓印光刻 (NIL)、透鏡成型和透鏡堆疊（UV 鍵合）。這個(gè)準(zhǔn)備就緒的多功能系統(tǒng)旨在滿(mǎn)足涉及微米和納米圖案以及功能層堆疊的各種新興應(yīng)用的高級(jí)研發(fā)和生產(chǎn)需求。其中包括晶圓級(jí)光學(xué)器件 (WLO)、光學(xué)傳感器和投影儀、汽車(chē)照明、增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)耳機(jī)的波導(dǎo)、生物醫(yī)療設(shè)備、超透鏡和超表面以及光電子學(xué)。 EVG7300 支持高達(dá) 300 毫米的晶圓尺寸，并具有高精度對(duì)準(zhǔn)、先進(jìn)的工藝控制和高產(chǎn)量，可滿(mǎn)足各種自由形狀和高精度納米和微米光學(xué)元件和設(shè)備的大批量制造需求。
納米壓印鏡頭制作.jpg
       EV Group 企業(yè)技術(shù)總監(jiān) Thomas Glinsner 表示：“憑借 20 多年的納米壓印技術(shù)經(jīng)驗(yàn)，EV Group 繼續(xù)開(kāi)拓這一關(guān)鍵領(lǐng)域，開(kāi)發(fā)創(chuàng)新解決方案，以滿(mǎn)足客戶(hù)不斷變化的需求。” “我們蕞新推出的納米壓印解決方案系列 EVG7300 將我們的 SmartNIL 全場(chǎng)壓印技術(shù)與鏡頭成型和鏡頭堆疊結(jié)合在蕞先近的系統(tǒng)中，并具有市場(chǎng)上蕞精確的對(duì)準(zhǔn)和工藝參數(shù)控制——為我們的客戶(hù)提供前所未有的靈活性，以滿(mǎn)足他們的行業(yè)研究和生產(chǎn)需求?！?/span>
       EVG7300 系統(tǒng)在 EVG 的 HERCULES® NIL 完全集成的 UV-NIL 跟蹤解決方案中作為獨(dú)力工具和集成模塊提供，其中額外的預(yù)處理步驟，如清潔、抗蝕劑涂層和烘烤或后處理，可以添加以針對(duì)特定的過(guò)程需求進(jìn)行優(yōu)化。該系統(tǒng)具有行業(yè)領(lǐng)仙的對(duì)準(zhǔn)精度（低至 300 nm），這是通過(guò)對(duì)準(zhǔn)臺(tái)改進(jìn)、高精度光學(xué)、多點(diǎn)間隙控制、非接觸式間隙測(cè)量和多點(diǎn)力控制的組合實(shí)現(xiàn)的。 EVG7300 是一個(gè)高度靈活的平臺(tái)，提供三種不同的工藝模式（透鏡成型、透鏡堆疊和 SmartNIL 納米壓印），并支持從 150 毫米到 300 毫米晶圓的基板尺寸。快速加載印模和晶圓、快速對(duì)準(zhǔn)光學(xué)器件、高功率固化和小工具占用空間，使高效平臺(tái)能夠滿(mǎn)足行業(yè)對(duì)新興 WLO 產(chǎn)品的制造需求。
2、產(chǎn)品可用性
       EVG 目前正在接受該系統(tǒng)的訂單，產(chǎn)品演示現(xiàn)已在位于公司總部的 EVG 的 NILPhotonics® 能力中心提供。有關(guān) EVG7300 自動(dòng)化 SmartNIL 納米壓印和晶圓級(jí)光學(xué)系統(tǒng)的更多信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn) https://www.evgroup.com/products/nanoimprint-lithography/uv-nil-smartnil/evg-7300/。
3、EVG參加SPIE AR/VR/MR 2022
       EVG 在 SPIE AR/VR/MR 會(huì)議和展覽上就 NIL 在制造增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)波導(dǎo)中的好處進(jìn)行受邀演講，該會(huì)議與在舊金山 Moscone 中心舉行的 SPIE Photonics West 共同舉辦1 月 22 日至 27 日。 EVG 也是此次活動(dòng)的參展商，將展示其用于光學(xué)和光子器件及應(yīng)用的先進(jìn)制造解決方案。
4、關(guān)于 EV 集團(tuán) (EVG)
       EV Group (EVG) 是半導(dǎo)體、微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS)、化合物半導(dǎo)體、功率器件和納米技術(shù)器件制造設(shè)備和工藝解決方案的領(lǐng)仙供應(yīng)商。 主要產(chǎn)品包括晶圓鍵合、薄晶圓加工、光刻/納米壓印光刻 (NIL) 和計(jì)量設(shè)備，以及光刻膠涂布機(jī)、清潔劑和檢測(cè)系統(tǒng)。 EV Group 成立于 1980 年，為遍布全球的全球客戶(hù)和合作伙伴網(wǎng)絡(luò)提供服務(wù)和支持。 有關(guān) EVG 的更多信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)我們的官網(wǎng)。

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