自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)_nSpec CPS

       Nanotronics 這個(gè)晶圓光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)具有人工智能的自動(dòng)檢查功能。先進(jìn)的圖像處理AOI系統(tǒng)可提供可定制性和靈活性，以及可靠，高度可重復(fù)的結(jié)果。可以對(duì)AI增強(qiáng)的軟件nTelligence進(jìn)行培訓(xùn)，以使用nSpec®上的稀疏數(shù)據(jù)檢測(cè)缺陷。一旦經(jīng)過(guò)訓(xùn)練，就可以將算法導(dǎo)入到生產(chǎn)工具中，并且用戶可以開(kāi)始自動(dòng)對(duì)感興趣的缺陷和特征進(jìn)行分類。該系統(tǒng)生成晶片上檢測(cè)到的所有缺陷的缺陷圖報(bào)告。

       無(wú)論用戶對(duì)樣品檢驗(yàn)有什么具體要求，我們都能提供廣范的解決方案來(lái)獲得快速的結(jié)果。
       nSpec®CPS 300mm自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)是高度受控的潔凈室環(huán)境的理想系統(tǒng)。該系統(tǒng)可按順序運(yùn)行多個(gè)掃描程序。用戶友好的軟件使配置配方變得毫不費(fèi)力。而且，隨著需求的發(fā)展，配方非常易于保存和修改。
1. 這種300毫米尺寸的設(shè)備支持：

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• HEPA空氣過(guò)濾

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• 空氣離子發(fā)生器

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• 自動(dòng)加載端口

2. 產(chǎn)品特征

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• 晶圓自動(dòng)處理

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• 可設(shè)置多種分辨率，范圍從0.25 μm到更高

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• 快速掃描功能

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• 可定制的缺陷報(bào)告

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• 可設(shè)置單個(gè)圖像捕獲和掃描

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• 提供各種樣品夾頭，可滿足特定需求

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• 對(duì)缺陷或感興趣特征進(jìn)行檢測(cè)和分類的魯棒分析

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• 擁有檢查和審查程序

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• 能夠多系統(tǒng)同步

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• 占地面積小，設(shè)施要求蕞少

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• 利用機(jī)架安裝控件

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• 帶有門(mén)聯(lián)鎖

3. 系統(tǒng)基本參數(shù)

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• 重量：540公斤

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• 尺寸（寬x深x高）：158cm x 173cm x 202cm

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• 蕞小真空要求：24英寸汞柱（70 kPa）

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• 電源：110v / 220v，30安培

4. 光學(xué)性能

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• 照明模式：明場(chǎng)，暗場(chǎng)，DIC（Nomarski）

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• 光源：白光LED（可用其他選項(xiàng)）

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• 物鏡倍數(shù)：2.5、5、10、20或50x，用戶可選

5. 光學(xué)平臺(tái)

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• 行程：典型值為350 mm（X和Y方向）

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• 定位：使用閉環(huán)編碼器，線性伺服電機(jī)（步進(jìn)為50 nm）

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• 重復(fù)性：+/- 0.5 μm

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• 行程平整度：20 μm

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• 結(jié)構(gòu)：施工精密地面滾道和高剛性直線導(dǎo)軌

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• 支撐平臺(tái)：集成到隔離平臺(tái)中

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• 帶有櫥柜系統(tǒng)

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• 中心負(fù)荷能力：5公斤

6. 備選功能

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• 可根據(jù)要求提供AFM 

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• SECS / GEM OCR

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• 空氣電離儀